[发明专利]一种减小射频四极杆传输质量歧视的装置在审
申请号: | 201711203282.5 | 申请日: | 2017-11-27 |
公开(公告)号: | CN109841489A | 公开(公告)日: | 2019-06-04 |
发明(设计)人: | 陈平;王祯鑫;赵琨;鞠帮玉;李海洋 | 申请(专利权)人: | 中国科学院大连化学物理研究所 |
主分类号: | H01J49/06 | 分类号: | H01J49/06;H01J49/42 |
代理公司: | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人: | 马驰 |
地址: | 116023 *** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本发明提供一种减小射频四极杆传输质量歧视的装置。基于四极杆传输原理的基础上,不同频率和幅值的射频电源有不同的传输质量范围。为减小质量歧视作用,在分段四极杆电极阵列中相邻的两个电极上分别施加不同的射频电源,在整个传输轴线方向产生两种交替的射频电场,同时兼顾两段质量范围质荷比离子的传输,减小质量歧视效应。 | ||
搜索关键词: | 减小 质量歧视 传输 射频四极杆 射频电源 质量歧视效应 四极杆电极 传输原理 传输轴线 射频电场 交替的 四极杆 质荷比 电极 两段 分段 离子 施加 | ||
【主权项】:
1.一种减小射频四极杆传输质量歧视的装置,其特征在于:包括由引入孔电极(1),引出孔电极(2),分段电极(3);引入孔电极(1)和引出孔电极(2)均为中部开设有通孔的平板状电极,引入孔电极(1)和引出孔电极(2)平行且中心通孔同轴设置;在引入孔电极(1)和引出孔电极(2)之间设置有分段电极(3);分段电极(3)由四组电极阵列构成;每组电极阵列均由四个或五个以上同轴相等间隔设置的、相同形状尺寸的圆柱或者圆环电极组成一电极杆;四个电极杆的首尾二个端面分别处于相互平行的二个平面上,且四个电极杆的轴线于每个平面上的交点均布同一个圆的圆周上;且该圆的圆心位于引入孔电极(1)和引出孔电极(2)中心通孔的轴线上。
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