[发明专利]一种板层剥离的检测方法和检测装置、激光检测设备有效
| 申请号： | 201711203723.1 | 申请日： | 2017-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN107907059B | 公开（公告）日： | 2019-12-06 |
| 发明（设计）人： | 邱熙;吴小平;李高纯 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 11112 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人： | 罗瑞芝;陈源<国际申请>=<国际公布>= |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种板层剥离的检测方法和检测装置、激光检测设备。该板层剥离的检测方法包括：以板层的剥离方向为x轴、与本体设有板层的面垂直的方向为y轴建立坐标系；在坐标系所在平面内，检测剥离后的基板的更靠近y轴正向的表面各点的位置，且各点构成板层的剥离路径曲线，在坐标系内建立剥离路径曲线的函数；对剥离路径曲线的函数进行求导运算，获得剥离路径曲线的斜率函数；将剥离路径曲线的斜率函数从剥离路径曲线的起点到终点进行积分运算；根据积分运算的结果确定板层剥离是否成功。该板层剥离的检测方法能够检测剥离后板层的绝对厚度变化，从而避免了承载板层的载台表面不平对检测结果的影响，提高了板层剥离检测的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 剥离 检测 方法 装置 激光 设备 | ||
【主权项】：
1.一种板层剥离的检测方法，用于在基板中，检测将所述板层从本体上的剥离是否成功，其特征在于，包括：/n以所述板层的剥离方向为x轴、与所述本体设有所述板层的面垂直的方向为y轴建立坐标系，所述y轴正向为从所述本体未设所述板层的面指向其设有所述板层的面的方向；/n在所述坐标系所在平面内，检测剥离后的所述基板的更靠近所述y轴正向的表面各点的位置，且所述各点构成所述板层的剥离路径曲线，在所述坐标系内建立所述剥离路径曲线的函数；/n对所述剥离路径曲线的函数进行求导运算，获得所述剥离路径曲线的斜率函数；/n将所述剥离路径曲线的斜率函数从所述剥离路径曲线的起点到终点进行积分运算；/n根据所述积分运算的结果确定所述板层剥离是否成功；/n当所述剥离路径曲线的斜率函数从所述剥离路径曲线的起点到终点的积分运算结果为所述板层的原始厚度的1/2以上时，确定所述板层剥离成功；/n否则，确定所述板层剥离失败。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司，未经京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711203723.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种光学元器件厚度的测量装置
- 下一篇：一种玻璃屏幕高度及平面度检测装置
