[发明专利]多层金属线栅结构薄膜宽带太赫兹偏振器及其制造方法在审
| 申请号： | 201711213278.7 | 申请日： | 2017-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN107783220A | 公开（公告）日： | 2018-03-09 |
| 发明（设计）人： | 黄喆;陈孝平 | 申请（专利权）人： | 浙江科技学院 |
| 主分类号： | G02B5/30 | 分类号： | G02B5/30 |
| 代理公司： | 杭州新源专利事务所(普通合伙)33234 | 代理人： | 丁海华 |
| 地址： | 310013 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多层金属线栅结构薄膜宽带太赫兹偏振器及其制造方法，它包括薄膜衬底(1)，在薄膜衬底(1)上方设有薄膜覆盖层(2)，在薄膜覆盖层(2)内设有多层由金属线(3)间隔设置组成的金属线栅(4)，且相邻层的金属线栅(4)交叉设置。本发明在宽带太赫兹波谱上仍有较高的消光比，可以很好地适用于高频太赫兹波的应用。此外，本发明消除了不同光学介质间引起的反射损耗，增强了薄膜器件的整体机械强度和稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 多层 金属线 结构 薄膜 宽带 赫兹 偏振 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
多层金属线栅结构薄膜宽带太赫兹偏振器，其特征在于：包括薄膜衬底(1)，在薄膜衬底(1)上方设有薄膜覆盖层(2)，在薄膜覆盖层(2)内设有多层由金属线(3)周期间隔设置组成的金属线栅(4)，且相邻层的金属线栅(4)交叉设置。
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