[发明专利]一种氯硅烷废气处理方法

摘要

本发明公开了一种氯硅烷废气处理方法，属于氯硅烷废气处理技术领域，包括向一级淋洗塔及淋洗水池内通入氮气排出空气；向净水池中放入清水；调制好药剂，备用；向淋洗水池中放入石灰乳碱液；依次开启气动阀、淋洗塔喷淋泵及石灰乳加药泵后，再开启进废气阀，使废气淋洗后，经水封罐排至火炬焚烧系统；淋洗废水排至中和池，再经提升泵提升至废水净化器，净化器出水自流至净水池，循环利用；净化器底部污泥定时排至污泥池，污泥经浓缩干化处理。本发明能够有效吸收工业生产过程中产生的氯硅烷废气中的有害气体，防止废气污染大气。

主权项

一种氯硅烷废气处理方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1：向一级淋洗塔及淋洗水池内通入氮气，将一级淋洗塔及淋洗水池内的空气排出；步骤2：向净水池中放入清水，准备喷淋废气用水；步骤3：分别调制好包含石灰乳、絮凝剂和助凝剂的药剂，备用；步骤4：利用熟石灰加药系统向淋洗水池中放入石灰乳碱液，准备循环喷淋用水；步骤5：依次开启气动阀、淋洗塔喷淋泵及石灰乳加药泵后，再开启进废气阀，使废气依次经过文丘里喷射器、一级淋洗塔、二级淋洗塔淋洗后，经水封罐排至火炬焚烧系统；步骤6：开启淋洗水池出水阀，淋洗废水排至中和池，中和池废水加石灰乳中和后，再经提升泵提升，与预先备好的絮凝剂和助凝剂混合，至废水净化器，净化器出水自流至净水池，循环利用；步骤7：净化器底部污泥定时排至污泥池，污泥池的污泥经浓缩后，再由污泥泵提升至板框压滤机干化处理，干泥外运处置。