[发明专利]多功能超快激光微细加工系统及其方法

摘要

本发明涉及多功能超快激光微细加工系统及方法，超快激光器输出端设倍频模块，倍频模块输出端有三个波段出光口，第一波段输出光路上设第一光路传输模组，第二波段输出光路上设第二光路传输模组，其输出的光束经合束镜合为一束，合束镜输出端依次设第一光路切换装置、第二光路切换装置和第三光路切换装置，第三波段输出光路上设第三光路传输模组，第三光路传输模组输出的光束处于另一光路上，第三光路传输模组输出端依次设第四光路切换装置、第五切换装置和第六反射镜，其中心在垂直方向上分别与第一光路切换装置、第二光路切换装置和第三光路切换装置的中心对齐，其垂直射出端光路均设光阑，光阑输出端设加工模块。实现数种组合方式的加工模式。

主权项

多功能超快激光微细加工系统，其特征在于：超快激光器(A)输出端设有倍频模块(B)，倍频模块(B)输出端有三个波段的出光口，其第一波段输出光路(B1)上设有第一光路传输模组，第二波段输出光路(B2)上设有第二光路传输模组，第一光路传输模组和第二光路传输模组输出的光路上设有合束镜(F)，光束经合束镜(F)合为一束使其处于同一光路上，合束镜(F)输出端依次设有第一光路切换装置(G1)、第二光路切换装置(G2)和第三光路切换装置(G3)，第三波段输出光路(B3)上设有第三光路传输模组，第三光路传输模组输出的光束处于另一光路上，第三光路传输模组输出端依次设有第四光路切换装置(G4)、第五切换装置(G5)和第六反射镜(D6)，第四光路切换装置(G4)、第五切换装置(G5)和第六反射镜(D6)的中心在垂直方向上分别与第一光路切换装置(G1)、第二光路切换装置(G2)和第三光路切换装置(G3)的中心对齐，第一光路切换装置(G1)垂直射出端光路上设有第一光阑(H1)，第二光路切换装置(G2)垂直射出端光路上设有第二光阑(H2)，第三光路切换装置(G3)垂直射出端光路上设有第三光阑(H3)，第一光阑(H1)输出端设有多光束并行加工模块(I)，第二光阑(H2)输出端设有三维扫描振镜加工模块(J)，第三光阑(H3)输出端设有钻孔加工模块(K)。