[发明专利]一种用于检测储存硅片氮气柜内部环境颗粒的方法

摘要

本发明涉及一种用于检测储存硅片氮气柜内部环境颗粒的方法，所述方法包括如下步骤：(1)检测空白测试硅片的表面颗粒，记录颗粒数量为K1；(2)将测试硅片放置于片盒中，且保留缝隙，得到测试盒；(3)将测试盒放置于氮气柜中，放置设定时间后，取出测试盒；(4)测定步骤(3)取出的测试盒中的测试硅片的表面颗粒，记录颗粒数量为K2；(5)判断：当|K2‑K1|＞5时，不合格；当|K2‑K1|≤5时，合格。所述方法操作简单，成本低廉，通过监控测试片，可以获得氮气柜中其他产品的可靠性。

主权项

1.一种用于检测储存硅片氮气柜内部环境颗粒的方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：(1)检测空白测试硅片的表面颗粒，记录颗粒数量为K1；(2)将测试硅片放置于片盒中，且保留缝隙，得到测试盒；(3)将测试盒放置于氮气柜中，放置设定时间后，取出测试盒；(4)测定步骤(3)取出的测试盒中的测试硅片的表面颗粒，记录颗粒数量为K2；(5)判断：当|K2-K1|＞5时，不合格；当|K2-K1|≤5时，合格。