[发明专利]一种基于内含钕化物软质磨料固着磨具的蓝宝石晶片抛光方法在审

专利信息
申请号: 201711220952.4 申请日: 2017-11-29
公开(公告)号: CN107953148A 公开(公告)日: 2018-04-24
发明(设计)人: 吕冰海;张韬杰;邓乾发;杭伟;曹霖霖;陈芝向;黄晟 申请(专利权)人: 浙江工业大学
主分类号: B24B1/00 分类号: B24B1/00;B24B55/02;B24D18/00
代理公司: 杭州斯可睿专利事务所有限公司33241 代理人: 王利强
地址: 310014 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 一种基于内含钕化物软质磨料固着磨具的蓝宝石晶片抛光方法,包括以下步骤1)基于内含钕化物软质磨料固着磨具原料的配制纳米二氧化硅40%~60%、粘结剂20%~40%、固化剂10%~15%、钕化物5%~10%、其余为去离子水;2)将配置好的原料在模具中热压成形,脱模后完成热固化,并对其上下端面进行修整;3)将磨具安装于抛光机的上盘,待加工的蓝宝石晶片放置在会旋转的抛光机下盘,用夹具固定住,启动抛光机,并在上下盘之间注入水基冷却液;磨具上的钕化物和二氧化硅磨粒对蓝宝石面进行划擦并发生固相反应,实现对蓝宝石晶片的抛光。本发明能够提高蓝宝石晶片的去除率并能降低粗糙度,提高加工效率、降低生产成本。
搜索关键词: 一种 基于 内含 钕化物软质 磨料 固着 磨具 蓝宝石 晶片 抛光 方法
【主权项】:
一种内含钕化物的软质磨料固着磨具的蓝宝石晶片抛光方法,其特征在于:所述研磨方法包括以下步骤:1)内含钕化物软质磨料固着磨具原料的配制:纳米二氧化硅40%~60%、粘结剂20%~40%、固化剂10%~15%、钕化物5%~10%、其余为去离子水;2)内含钕化物软质磨料固着磨具的制作:在去离子水中加入固化剂,并搅拌使其溶解,随后加入结合剂、纳米二氧化硅、钕化物,将其搅拌均匀;将配置好的配料在模具中热压成形,脱模后完成热固化,并对其上下端面进行修整,保证磨具上下端面的平整度和平行度;3)内含钕化物软质磨料固着磨具对蓝宝石晶片的抛光:将内含钕化物的软质磨料固着磨具安装于抛光机的上盘,待加工的蓝宝石晶片放置在会旋转的抛光机下盘,用夹具固定住,启动抛光机,并在上下盘之间注入水基冷却液;内含钕化物的软质磨料固着磨具上的钕化物和二氧化硅磨粒对蓝宝石面进行划擦并发生固相反应,实现对蓝宝石晶片的抛光。
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