[发明专利]一种分压力质谱计校准装置及方法有效
| 申请号： | 201711221169.X | 申请日： | 2017-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN107991020B | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 李得天;孙雯君;成永军;习振华;袁征难;赵澜;董猛;郭美如 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01L27/00 | 分类号： | G01L27/00 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 刘芳;仇蕾安 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种分压力质谱计校准装置，主要由微调阀、活塞压力计、配样室、多个高纯气瓶、电容薄膜真空计、一级进样室、二级进样室、采样室、小孔、校准室、分离规及抽气系统构成；配样室分别与活塞压力计、电容薄膜真空计相连，配样室还通过微调阀与相互并联的多个高纯气瓶相连；配样室与一级进样室之间并联多个体积互不相同的采样室，一级进样室与二级进样室之间并联多个体积互不相同的采样室，二级进样室依次串联小孔、校准室；校准室分别与待校准的分压力质谱计和分离规相连；配样室、一级进样室、二级进样室及校准室均与抽气系统相连。本发明不仅能够按照客户需求对实际需要的混合气体进行配置，而且能够保证气体在校准过程中不发生变样。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 分压力 质谱计 校准 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种新型分压力质谱计校准装置，其特征在于，主要由微调阀(1)、活塞压力计(2)、配样室(4)、多个高纯气瓶、电容薄膜真空计(6)、一级进样室(13)、二级进样室(21)、采样室、小孔(22)、校准室(24)、分离规(44)及抽气系统构成；其中所述配样室(4)分别与活塞压力计(2)、电容薄膜真空计(6)相连，所述配样室(4)还通过微调阀(1)与相互并联的多个高纯气瓶相连；所述配样室(4)与一级进样室(13)之间并联多个体积互不相同的采样室，所述一级进样室(13)与二级进样室(21)之间并联多个体积互不相同的采样室，所述二级进样室(21)依次串联小孔(22)、校准室(24)；所述校准室(24)分别与待校准的分压力质谱计(41)和分离规(44)相连；所述配样室(4)、一级进样室(13)、二级进样室(21)及校准室(24)均与抽气系统相连。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于兰州空间技术物理研究所，未经兰州空间技术物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711221169.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种煤矿开采用安全防护装置
- 下一篇：一种用于矿山井下的无人值守自动排水系统
