[发明专利]大尺寸氮化铝陶瓷基板的制备方法

摘要

本发明提供了一种大尺寸氮化铝陶瓷基板的制备方法，制备的氮化铝陶瓷基板具有高致密度、高热导率、表面平整、翘起度小等优点。此工艺为一次成型增加了生产效率，降低生产成本。本发明采用不同烧结助剂体系有效降低了氮化铝的烧结温度，采用优化的排胶和烧结制度，大大减少了排胶时间和烧结保温时间。制备出了高致密的氮化铝陶瓷。本发明采用特殊的叠片方式有效降低了素坯中的残余应力，结合重物压平处理和使用抛光的氮化硼匣钵，制备出的基板表面平滑且翘曲度小。本发明实现了大尺寸氮化铝陶瓷基板一次成型，无需对陶瓷基板磨平处理，提高了生产效率、节约了生产成本、有助于氮化铝基板在更多领域应用的推广。

主权项

一种大尺寸氮化铝陶瓷基板的制备方法，其特征在于,包括如下步骤：a.将含烧结助剂的氮化铝浆料通过流延成型工艺制成素坯，将素坯分切成一定尺寸的陶瓷生坯；b.生坯按设定的叠片方式进行叠片设置，再将叠好的生坯进行等静压处理；c.等静压好的生坯置于高温烘箱中，在一定温度下用重物进行压平处理，完成氮化铝陶瓷基板成型工艺；d.将经过压平处理后的生坯放入排胶炉中，进行排胶处理；e.将排完胶的生坯再放到匣钵中，将匣钵连同装载的生坯一并置于高温炉中，进行烧结工艺处理，得到表面平滑的氮化铝陶瓷基板。