[发明专利]CMOS图像传感器光谱响应空间辐射损伤的测试设备及其方法在审
| 申请号： | 201711223104.9 | 申请日： | 2017-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN108267298A | 公开（公告）日： | 2018-07-10 |
| 发明（设计）人： | 汪波;刘伟鑫;李珍;戴利剑;孔泽斌;徐导进 | 申请（专利权）人： | 上海精密计量测试研究所;上海航天信息研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海航天局专利中心 31107 | 代理人： | 余岢 |
| 地址： | 201109 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种CMOS图像传感器光谱响应空间辐射损伤的测试设备及其方法：利用溴钨灯等卤素灯光源发出光，经过积分球无数次反射后输出均匀光，均匀光通过滤波轮上不同的滤光片变成不同波长的单色光，调整放置在三维样品调整台上的待测CMOS图像传感器，使不同波长的单色光照射在光敏面上，根据所采集的图像信息得出CMOS图像传感器的光谱响应，再将CMOS图像传感器受高能粒子辐照后，再进行一次测试，得到器件的光谱响应辐射损伤。本发明能够对CMOS图像传感器光谱响应的辐射损伤进行定量的分析评价，为星用CMOS图像传感器的选型、抗辐射加固设计以及器件受辐照后光响应性能退化的机理研究提供检测手段。 | ||
| 搜索关键词： | 光谱响应 损伤 测试设备 空间辐射 均匀光 波长 高能粒子辐照 单色光照射 光响应性能 卤素灯光源 辐照 机理研究 图像信息 样品调整 辐射 单色光 积分球 抗辐射 滤波轮 滤光片 溴钨灯 光敏 选型 反射 三维 退化 采集 测试 输出 检测 分析 | ||
【主权项】：
1.一种CMOS图像传感器光谱响应空间辐射损伤的测试设备，包括可调光源（1）、滤波轮（7）和三维样品调整台（8），其特征在于，所述测试设备还包括导光筒（2）、积分球（5）、标准探测器（6）和遮光板（3）；所述可调光源（1）放置于导光筒（2）内，所述导光筒（2）的出光口与所述积分球（5）的入光口连接，所述遮光板（3）可运动地设置于所述积分球（5）侧面入光口，用于调节进入所述积分球（5）的光通量，所述标准探测器（6）放置于所述积分球（5）内壁上，用于实时监控由所述积分球（5）的光窗输出的均匀光的辐照度，所述滤波轮（7）上安装有不同波长的滤波片；所述可调光源（1）发出的光依次通过所述导光筒（2）、所述积分球（5）、所述滤波片，到达所述三维样品调整台（8）上的待测CMOS图像传感器。
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