[发明专利]提高激光器寿命和发光效率的方法在审
| 申请号： | 201711223176.3 | 申请日： | 2017-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN108039645A | 公开（公告）日： | 2018-05-15 |
| 发明（设计）人： | 谢圣文;杨成奥;张宇;牛智川 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01S5/028 | 分类号： | H01S5/028;C23C14/30 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 汤宝平 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种提高激光器寿命和发光效率的方法，包括如下步骤：步骤1：通过电子束热蒸发方式在激光器管芯两端面分别生长高反膜和增透膜；步骤2：生长完高反膜和增透膜之后，将激光器管芯迅速置入快速热退火设备中；步骤3：提前设定好热退火条件，进行热退火；步骤4：冷却至室温。本发明因为引入了激光器对高反膜和增透膜进行快速热退火工艺，可以有效提高激光器的效率和寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 提高 激光器 寿命 发光 效率 方法 | ||
【主权项】：
1.一种提高激光器寿命和发光效率的方法，包括如下步骤：步骤1：通过电子束热蒸发方式在激光器管芯两端面分别生长高反膜和增透膜；步骤2：生长完高反膜和增透膜之后，将激光器管芯迅速置入快速热退火设备中；步骤3：提前设定好热退火条件，进行热退火；步骤4：冷却至室温。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院半导体研究所，未经中国科学院半导体研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711223176.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
