[发明专利]一种硅片的滑道检测方法及装置

摘要

本发明公开了一种硅片的滑道检测方法及装置，所述方法包括：基于霍夫变换确定硅片区域中的每条第一直线段；确定第一直线段上每个第二像素点对应的线外点；根据每个第二像素点和对应的线外点在硅片图像中的灰度值，确定该第一直线段的平均内外灰度差；根据目标直线段的平均内外灰度差，确定目标直线段的滑道参数值，判断滑道参数值是否大于预设的阈值，如果是，确定该目标直线段为滑道。由于在本发明实施例中，根据目标直线段的平均内外灰度差确定目标直线段的滑道参数值，进而进行滑道的检测，能够减小复杂背景纹理对确定滑道的干扰，并且在低对比度情况下，能够准确的检测出滑道。

主权项

1.一种硅片的滑道检测方法，其特征在于，所述方法包括：在硅片图像中的硅片区域中，将灰度值大于预设灰度阈值的像素点确定为第一像素点；基于霍夫变换和所述第一像素点，确定所述硅片区域中的每条第一直线段；针对每条第一直线段，确定该第一直线段上每个第二像素点的梯度方向，针对所述每个第二像素点，根据该第二像素点的梯度方向，确定位于该梯度方向上的该第二像素点对应的线外点；根据每个第二像素点和对应的线外点在所述硅片图像中的灰度值，确定该第一直线段的平均内外灰度差；确定第一直线段中的目标直线段，根据目标直线段的平均内外灰度差，确定目标直线段的滑道参数值，判断所述滑道参数值是否大于预设的阈值，如果是，确定该目标直线段为滑道。