[发明专利]工艺设备及其工作方法在审

专利信息
申请号: 201711227760.6 申请日: 2017-11-29
公开(公告)号: CN108054116A 公开(公告)日: 2018-05-18
发明(设计)人: 王大为;吴孝哲;林宗贤 申请(专利权)人: 德淮半导体有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 徐文欣;吴敏
地址: 223302 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 一种工艺设备及其工作方法,工艺设备包括:传送腔,所述传送腔的侧壁中具有若干第一阀门;位于传送腔周围的若干工艺腔组,各工艺腔组分别包括一个或多个工艺腔,各工艺腔的侧壁中分别具有第二阀门,不同工艺腔组中第二阀门的中心具有高度差,当工艺腔组包括多个工艺腔时,同一工艺腔组中第二阀门的中心的高度相同,第二阀门分别和第一阀门相对设置;位于传送腔中的传送臂组;传送臂组包括若干传送臂单元,各传送臂单元沿着垂直于旋转工作平面的方向上排布,所述旋转工作平面垂直于工艺腔侧壁,传送臂单元的数量和工艺腔组的数量相同,每个传送臂单元通过相对设置的第一阀门和第二阀门对工艺腔取放晶圆。所述工艺设备的工作效率提高。
搜索关键词: 工艺设备 及其 工作 方法
【主权项】:
1.一种工艺设备,其特征在于,包括:传送腔,所述传送腔的侧壁中具有若干第一阀门;位于传送腔周围的若干工艺腔组,各工艺腔组分别包括一个或多个工艺腔,各工艺腔的侧壁中分别具有第二阀门,不同工艺腔组中第二阀门的中心具有高度差,当工艺腔组包括多个工艺腔时,同一工艺腔组中第二阀门的中心的高度相同,第二阀门分别和第一阀门相对设置;位于传送腔中的传送臂组;传送臂组包括若干传送臂单元,各传送臂单元沿着垂直于旋转工作平面的方向上排布,所述旋转工作平面垂直于工艺腔侧壁,传送臂单元的数量和工艺腔组的数量相同,每个传送臂单元通过相对设置的第一阀门和第二阀门对工艺腔取放晶圆。
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