[发明专利]一种高效三层氮化硅膜金刚片太阳能电池及其制造工艺

摘要

本发明公开了一种高效三层氮化硅膜金刚片太阳能电池及其制造工艺，包括金刚线切割多晶P型硅片和铝背场，所述铝背场设置在金刚线切割多晶P型硅片下方，所述金刚线切割多晶P型硅片上方设置有第一氮化硅层，所述第一氮化硅层上方设置有第二氮化硅层，所述第二氮化硅层上方设置有第三氮化硅层，所述第三氮化硅层上方设置有栅线电极，第一氮化硅层采用折射率为2.4的氮化硅薄膜，第二氮化硅层采用折射率为2.15的氮化硅薄膜，第三氮化硅层采用折射率为2.0的氮化硅薄膜，该高效三层氮化硅膜金刚片太阳能电池，可以有效降低金刚线切电池片的光反射率，提高电池转换效率，可以普遍推广使用。

主权项

一种高效三层氮化硅膜金刚片太阳能电池，包括金刚线切割多晶P型硅片（2）和铝背场（1），其特征在于：所述铝背场（1）设置在金刚线切割多晶P型硅片（2）下方，所述金刚线切割多晶P型硅片（2）上方设置有第一氮化硅层（3），所述第一氮化硅层（3）上方设置有第二氮化硅层（4），所述第二氮化硅层（4）上方设置有第三氮化硅层（5），所述第三氮化硅层（5）上方设置有栅线电极（6）。