[发明专利]硬掩模用组合物在审
| 申请号： | 201711230827.1 | 申请日： | 2017-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN108227385A | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 梁敦植;梁振锡;崔汉永 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/11 | 分类号： | G03F7/11 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 钟晶;钟海胜 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： |
本发明涉及一种硬掩模用组合物，硬掩模用组合物包含碳原子数6～20的芳香族化合物、化学式1所表示的连接化合物的聚合物、和溶剂。化学式1中，R1和R2各自独立地为碳原子数1～3的烷基、或碳原子数6～10的芳基，X为碳原子数2～10的脂肪族亚烷基、或者至少一个亚甲基被氧原子取代的碳原子数2～10的脂肪族亚烷基，a和b各自为0～2的整数，a与b之和为2。通过使用硬掩模用组合物，能够形成平坦性、耐热性、耐蚀刻性同时提高的硬掩模。[化学式1] |
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| 搜索关键词： | 碳原子数 硬掩模 亚烷基 脂肪族 耐热性 烷基 芳香族化合物 连接化合物 氧原子取代 耐蚀刻性 聚合物 平坦性 亚甲基 溶剂 芳基 | ||
【主权项】：
1.一种硬掩模用组合物，其包含碳原子数6～20的芳香族化合物、下述化学式1所表示的连接化合物的聚合物、和溶剂，化学式1![]()
化学式1中，R1和R2各自独立地为碳原子数1～3的烷基、或碳原子数6～10的芳基，X为碳原子数2～10的脂肪族亚烷基、或者至少一个亚甲基被氧原子取代的碳原子数2～10的脂肪族亚烷基，a和b各自为0～2的整数，a与b之和为2。
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