[发明专利]显影液的成分浓度测定装置及显影液管理装置在审
| 申请号： | 201711232431.0 | 申请日： | 2017-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN108344778A | 公开（公告）日： | 2018-07-31 |
| 发明（设计）人： | 中川俊元 | 申请（专利权）人： | 株式会社平间理化研究所 |
| 主分类号： | G01N27/06 | 分类号： | G01N27/06;G01N21/31;G03F7/30 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王婷 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供根据显现碱性的显影液的特性值来精度良好地算出显影液的碱成分、溶解的光致抗蚀剂、吸收的二氧化碳等各成分的浓度的显影液的成分浓度测定装置、以及将显影液的显影性能维持并管理成最佳的状态的显影液管理装置。显影液的成分浓度测定装置具备：对与反复使用且显现碱性的显影液的成分浓度具有关联的显影液的多个特性值进行测定的测定部(1)；基于由测定部测定出的多个特性值并利用多变量解析法来算出显影液的成分浓度的运算部(2)；以及显示由测定部(1)测定出的所述特性值及由运算部(2)算出的成分浓度中的至少任一方的显示部(DP)。 | ||
| 搜索关键词： | 显影液 成分浓度测定装置 显影液管理装置 运算部 光致抗蚀剂 显影性能 多变量 解析法 二氧化碳 溶解 关联 吸收 管理 | ||
【主权项】：
1.一种显影液的成分浓度测定装置，其中，所述显影液的成分浓度测定装置具备：测定部，其对与反复使用且显现碱性的显影液的成分浓度具有关联的所述显影液的多个特性值进行测定；运算部，其基于由所述测定部测定出的所述多个特性值并利用多变量解析法来算出所述显影液的成分浓度；以及显示部，其显示由所述测定部测定出的所述特性值及由所述运算部算出的所述成分浓度中的至少任一方。
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