[发明专利]药液的浓度管理装置、再生装置、费用的计算方法及系统在审
| 申请号： | 201711232617.6 | 申请日： | 2017-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN108960882A | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 中川俊元 | 申请（专利权）人： | 株式会社平间理化研究所 |
| 主分类号： | G06Q30/02 | 分类号： | G06Q30/02;G01F15/07 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王婷 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供在对用于制造半导体、液晶显示器基板的药液浓度进行管理的服务提供中使用的浓度管理装置及在对药液进行再生处理的服务提供中使用的药液再生装置、及使用这些装置而提供的服务提供所涉及的费用的计算方法及系统。浓度管理装置(1)在补给补充液的配管配备有累计流量计(51～53)。药液再生装置(2)在供给再生药液的配管配备有累计流量计(54)。药液的浓度管理或再生处理的费用基于由累计流量计计测出的规定期间内的累计流量而算出。累计流量计(221～225)具备通信功能而与网络(201)连接。累计流量经由网络由服务器系统(202)接收并存储。服务器系统(202)具备按照每个累计流量计并基于规定期间的累计流量而计算费用的计算部(205)。 | ||
| 搜索关键词： | 流量计 浓度管理 服务提供 累计流量 再生装置 计算方法及系统 服务器系统 再生处理 配管 液晶显示器基板 通信功能 再生药液 补充液 计算部 配备 半导体 补给 存储 网络 制造 管理 | ||
【主权项】：
1.一种药液的浓度管理装置，其利用配管与反复使用药液的设备连接，并经由所述配管向在所述设备中使用的所述药液供给补充液来管理所述药液的浓度，其中，在所述配管中配备有累计流量计。
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