[发明专利]一种质点振速测量敏感结构及制备方法有效
| 申请号： | 201711235976.7 | 申请日： | 2017-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN108069385B | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 刘云飞;周瑜;冯杰 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第三研究所 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00;G01H11/06 |
| 代理公司： | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人： | 韩金明 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种质点振速测量敏感结构及其制备方法，硅衬底上形成有桥孔，桥孔的一侧上设有第一电极，桥孔的另一侧上设有第二电极、第三电极，桥孔上方设有第一薄丝、第二薄丝，第一薄丝、第二薄丝平行设置且保持微间距，两个薄丝的一端均与第一电极连接，两个薄丝的另一端分别与第二电极、第三电极连接，第一薄丝、第二薄丝的结构均为，薄丝的两端部位呈弯曲状，薄丝的中间部位呈平直的矩形状；薄丝中间部位的宽度、厚度大于薄丝两端部位的宽度、厚度。本发明薄丝两端部位采用窄薄弯曲的特有结构，减小通过薄丝进行热传导的有效截面积，同时增加了热传递路径长度，从而可有效抑制敏感结构有限长度边界热传导效应，改善在低频段响应特性。 | ||
| 搜索关键词： | 桥孔 两端部位 敏感结构 第二电极 第三电极 第一电极 质点振速 制备 测量 热传导效应 热传递路径 有效截面积 平行设置 特有结构 响应特性 有效抑制 低频段 硅衬底 矩形状 热传导 弯曲状 微间距 减小 平直 | ||
【主权项】：
1.一种质点振速测量敏感结构，硅衬底上形成有桥孔，桥孔的一侧上设有第一电极，桥孔的另一侧上设有第二电极、第三电极，桥孔上方设有第一薄丝、第二薄丝，第一薄丝、第二薄丝平行设置且保持微间距，两个薄丝的一端均与第一电极连接，两个薄丝的另一端分别与第二电极、第三电极连接，其特征在于：第一薄丝、第二薄丝的结构均为，薄丝的两端部位呈弯曲状，薄丝的中间部位呈平直的矩形状；薄丝中间部位的宽度、厚度大于薄丝两端部位的宽度、厚度。
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