[发明专利]卷到卷基底沉积设备有效
| 申请号： | 201711236760.2 | 申请日： | 2017-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN108118306B | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 李臣馥;宋泰俊;金南国;柳洵城;李焕建 | 申请（专利权）人： | 乐金显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/12;H01L27/32 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 蔡胜有;董文国 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种卷到卷基底沉积设备，其可以控制沉积区域的宽度和长度以调节膜的尺寸。该卷到卷基底沉积设备包括沉积区域控制器，该沉积区域控制器设置在供应至室内部的柔性基底与向柔性基底供应沉积材料的沉积单元之间，以调节在柔性基底的一个表面上的由沉积材料形成的膜的宽度和长度。 | ||
| 搜索关键词： | 卷到卷 基底 沉积 设备 | ||
【主权项】：
一种卷到卷基底沉积设备，包括：室，所述室被配置成在其中连续地接收柔性基底；沉积单元，所述沉积单元设置在所述柔性基底的下方以向所述柔性基底的一个表面供应沉积材料；以及沉积区域控制器，所述沉积区域控制器设置在所述柔性基底与所述沉积单元之间，以调节在所述柔性基底的所述表面上的由所述沉积材料形成的膜的宽度和长度。
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