[发明专利]一种非晶氧化钨薄膜的制备方法有效
申请号: | 201711239523.1 | 申请日: | 2017-11-30 |
公开(公告)号: | CN108017289B | 公开(公告)日: | 2020-10-27 |
发明(设计)人: | 任洋;高赟;周晓歌;赵高扬 | 申请(专利权)人: | 西安理工大学 |
主分类号: | C03C17/34 | 分类号: | C03C17/34 |
代理公司: | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人: | 胡燕恒 |
地址: | 710048*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: |
本发明公开了一种非晶氧化钨薄膜的制备方法,具体步骤如下:步骤1,将液态烷烃与溶剂混合,在一定温度范围内搅拌,获得溶液A;步骤2,再将WCl |
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搜索关键词: | 一种 氧化钨 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种非晶氧化钨薄膜的制备方法,其特征在于,具体步骤如下:步骤1,将液态烷烃与溶剂混合,在一定温度范围内搅拌,获得溶液A;步骤2,再将WCl6 与溶液A混合,搅拌,静置分层,获得分层溶胶B;步骤3,利用分层溶胶B,采用浸渍提拉法在导电玻璃基板上镀凝胶膜,经250~300℃热处理得到非晶WO3 薄膜。
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