[发明专利]静电卡盘产品污染物清洗处理的方法在审
| 申请号： | 201711239965.6 | 申请日： | 2017-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN107952727A | 公开（公告）日： | 2018-04-24 |
| 发明（设计）人： | 赵浩;皮超 | 申请（专利权）人： | 芜湖通潮精密机械股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B1/00;B08B3/08;F26B5/16;F26B21/00 |
| 代理公司： | 芜湖安汇知识产权代理有限公司34107 | 代理人： | 朱圣荣 |
| 地址： | 241000 安徽省芜*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种静电卡盘产品污染物清洗处理的方法，包括以下步骤步骤1、高压水枪冲洗静电卡盘产品；步骤2、擦拭静电卡盘产品正面及侧面水分；步骤3、使用蘸有异丙醇的无尘布擦拭静电卡盘正面及侧面；步骤4、使用蘸有乙醇的无尘布擦拭静电卡盘正面及侧面；步骤5、使用蘸有乙醇的无尘布擦拭静电卡盘背面；步骤6、对静电卡盘进行高压水枪的冲洗；步骤7、气体吹干静电卡盘产品。本发明的优点在于清洗步骤简单，但能够在最小的成本下，使静电卡盘产品恢复如初，达到客户重复使用的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 卡盘 产品 污染物 清洗 处理 方法 | ||
【主权项】：
静电卡盘产品污染物清洗处理的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、高压水枪冲洗静电卡盘产品；步骤2、擦拭静电卡盘产品正面及侧面水分；步骤3、使用蘸有异丙醇的无尘布擦拭静电卡盘正面及侧面；步骤4、使用蘸有乙醇的无尘布擦拭静电卡盘正面及侧面；步骤5、使用蘸有乙醇的无尘布擦拭静电卡盘背面；步骤6、对静电卡盘进行高压水枪的冲洗；步骤7、气体吹干静电卡盘产品。
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