[发明专利]二氧化锡基气敏材料及硫化氢气体传感器芯片的制备方法、硫化氢气体传感器有效

专利信息
申请号: 201711241373.8 申请日: 2017-11-30
公开(公告)号: CN108318542B 公开(公告)日: 2020-10-27
发明(设计)人: 孙旭辉;吴庆乐;张书敏;徐瑞;张平平;何跃;王国栋;熊金龙 申请(专利权)人: 苏州慧闻纳米科技有限公司
主分类号: G01N27/12 分类号: G01N27/12
代理公司: 北京智汇东方知识产权代理事务所(普通合伙) 11391 代理人: 薛峰;康正德
地址: 215123 江苏省苏州市苏州工业*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提供了二氧化锡基气敏材料的制备方法。包括如下步骤:向锡的盐溶液中加入弱酸,将溶液pH值调节至1‑2,并在第一预设温度下搅拌均匀;以预设速率加入弱碱,直至将溶液的pH值调节至2‑3,继续搅拌直至呈凝胶状态;取出凝胶,将凝胶加热至第二预设温度,再加入弱酸以调节pH值至1.5‑2;加入聚乙二醇后进行干燥并烧结,以获得二氧化锡粉体;向二氧化锡粉体中加入金属盐和可挥发醇类溶剂,并研磨以获取浆料,烧结一预设时间,获得金属掺杂二氧化锡基气敏材料。本发明还提供了一种硫化氢气体传感器芯片的制备方法和硫化氢气体传感器。本发明通过改变气敏材料的制备工艺,解决了SnO2基材料在常温下对H2S气体几乎没有响应的技术问题。
搜索关键词: 氧化 锡基气敏 材料 硫化氢 气体 传感器 芯片 制备 方法
【主权项】:
1.二氧化锡基气敏材料的制备方法,其特征在于,包括依次进行的如下步骤:向锡的盐溶液中加入弱酸,将溶液的pH值调节至1‑2,并在第一预设温度下搅拌均匀;在搅拌的过程中以预设速率加入弱碱,直至将溶液的pH值调节至2‑3,继续搅拌直至呈凝胶状态;将凝胶加热至第二预设温度,再加入弱酸以调节pH值至1.5‑2;干燥并烧结,以获得二氧化锡粉体;向所述二氧化锡粉体中加入金属盐和可挥发醇类溶剂,并进行研磨以获取浆料,在第三预设温度下烧结一预设时间,以获得金属掺杂二氧化锡基气敏材料。
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