[发明专利]防撞装置、工件台及曝光装置有效
| 申请号： | 201711244615.9 | 申请日： | 2017-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN109856916B | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 丛国栋;张志钢;李志龙;刘屈武 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种防撞装置、工件台及曝光装置，所述防撞装置安装在工件台的边缘，可以节省工件台内部的大量空间；所述滚轮套接在所述转轴组件外，所述滚轮能够相对所述工件台转动，当工件台失控时，由于防撞装置安装在工件台的边缘，保证了发生碰撞的部件始终是防撞装置，防撞装置中的滚轮可以转动，以吸收碰撞能量，避免损伤工件台内的精密部件，并且所述防撞装置占用空间小、重量轻，也可实现对任意方向碰撞的防撞。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 工件 曝光 | ||
【主权项】：
1.一种防撞装置，安装在工件台的边缘，其特征在于，所述防撞装置包括滚轮和转轴组件，所述滚轮套接在所述转轴组件外，所述滚轮能够相对所述工件台转动。
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