[发明专利]一种波像差检测系统及测量方法在审
| 申请号： | 201711244709.6 | 申请日： | 2017-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN109855842A | 公开（公告）日： | 2019-06-07 |
| 发明（设计）人： | 孙慧慧 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种波像差测量方法，包括：使用球面波照射波像差测量装置，通过波像差测量装置获得未安装投影物镜时像方参考光斑对应的第一波前信息；安装投影物镜，使球面波经过投影物镜后，入射至波像差测量装置；调节波像差测量装置使得像点阵列和参考光斑的位置对准；根据波像差测量装置获得像点阵列的波前倾斜，并获得第二波前信息；根据第二波前信息和第一波前信息获得投影物镜的波像差信息。本发明实施例提供了一种波像差检测系统及测量方法，利用波像差测量装置可实现多视场点的同时探测，在保证测量精度的同时，提高测试效率。 | ||
| 搜索关键词： | 波像差测量装置 波前信息 投影物镜 波像差检测 光斑 测量 球面波 像点 波像差测量 测试效率 位置对准 参考 波像差 入射 视场 像方 照射 探测 保证 | ||
【主权项】：
1.一种波像差测量方法，其特征在于，包括：步骤一、使用球面波照射波像差测量装置，通过所述波像差测量装置获得未安装投影物镜时像方参考光斑对应的第一波前信息；步骤二、安装所述投影物镜，使球面波经过所述投影物镜后，入射至所述波像差测量装置；步骤三、调节所述波像差测量装置使得像点阵列和所述参考光斑的位置对准；步骤四、根据所述波像差测量装置获得所述像点阵列的波前倾斜，并获得第二波前信息；步骤五、根据所述第二波前信息和第一波前信息获得所述投影物镜的波像差信息。
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