[发明专利]涂胶装置及方法在审
| 申请号： | 201711244922.7 | 申请日： | 2017-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN109856914A | 公开（公告）日： | 2019-06-07 |
| 发明（设计）人： | 赵滨;陈勇辉 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种涂胶装置和方法，所述涂胶装置包括承载台和吹气机构，所述承载台用于承载基底，涂胶时，所述吹气机构移动至所述承载台的上方并向所述承载台吹气，以使光刻胶涂布于所述基底表面。本发明采用吹气机构向承载台吹气的方式，与现有技术相比提高了光刻胶的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 承载台 吹气机构 涂胶装置 吹气 光刻胶涂布 基底表面 光刻胶 基底 涂胶 承载 移动 | ||
【主权项】：
1.一种涂胶装置，其特征在于，包括承载台和吹气机构，所述承载台用于承载基底，所述吹气机构在基底点胶后移动至所述承载台的上方并向所述承载台吹气，以使光刻胶均匀涂布于所述基底表面。
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