[发明专利]一种IGBT器件及制造方法有效
申请号: | 201711245096.8 | 申请日: | 2017-11-29 |
公开(公告)号: | CN108010964B | 公开(公告)日: | 2020-09-08 |
发明(设计)人: | 左义忠;王宇;王修忠;麻建国 | 申请(专利权)人: | 吉林华微电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/739 | 分类号: | H01L29/739;H01L21/331 |
代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人: | 覃蛟 |
地址: | 132013 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 一种IGBT器件及制造方法,属于半导体器件领域。IGBT器件包括绝缘栅场效应管、位于绝缘栅场效应管漏区的肖特基势垒二极管,肖特基势垒二极管和绝缘栅场效应管通过共用的N‑漂移区复合而成,在肖特基势垒二极管中通过肖特基势垒接触形成IGBT器件的一个发射结,IGBT的发射极位于绝缘栅场效应管的上表面、集电极位于肖特基势垒二极管的下表面。本发明提供的IGBT器件采用MOS管结合肖特基势垒二极管的结构形式构成,利用肖特基势垒二极管中少子对MOS中的漂移区进行导电调制,获得了改善的性能。 | ||
搜索关键词: | 一种 igbt 器件 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种IGBT器件,其特征在于,所述IGBT器件包括绝缘栅场效应管、位于所述绝缘栅场效应管漏区的肖特基势垒二极管,所述肖特基势垒二极管和所述绝缘栅场效应管通过共用的N-漂移区复合,在所述肖特基势垒二极管中通过肖特基势垒接触形成所述IGBT器件的一个发射结,所述IGBT的发射极位于所述绝缘栅场效应管的上表面、集电极位于肖特基势垒二极管的下表面。
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