[发明专利]一种准分子激光器能量探测器的能量值标定系统及方法有效
| 申请号： | 201711245937.5 | 申请日： | 2017-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN108151889B | 公开（公告）日： | 2019-10-29 |
| 发明（设计）人： | 冯泽斌;韩晓泉;刘广义;刘斌;张华;刘志岩 | 申请（专利权）人： | 北京科益虹源光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01J11/00 | 分类号： | G01J11/00 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 赵勍毅 |
| 地址： | 100000 北京市大兴区经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供了一种准分子激光器能量探测器的能量值标定系统及方法，采用支持向量回归(SVR)算法，对于标准能量值进行“学习”，从而得到电压值和标准能量值之间的关系，从而对于光电式能量探测器的能量值进行标定，将支持向量回归(SVR)应用于准分子激光器能量探测器的能量值标定中来，从而得到更精确的能量值和更宽的能量探测范围。 | ||
| 搜索关键词： | 能量探测器 准分子激光器 支持向量回归 标定系统 标准能量 标定 能量探测 光电式 算法 应用 学习 | ||
【主权项】：
1.一种准分子激光器能量探测器的能量值标定方法，其特征在于，所述方法包括：利用分光镜对准分子激光脉冲进行分光得到透射光及反射光；利用能量探测器对所述反射光激光脉冲的能量进行采集，并利用标准能量计对所述透射光进行能量值检测；调整准分子激光器的高压激励改变所述准分子激光脉冲的出光能量，获取在不同出光能量下所述能量探测器得到的峰值电压和所述标准能量计测得的能量值的对应关系；利用支持向量回归算法对所述对应关系进行处理得到标定模型f(Vpj)；![]()
其中，![]()
VP为激光脉冲的能量值，i和j为不小于1的正整数；![]()
为一种低维空间到高维空间的映射关系；![]()
和αj为引入的拉格朗日乘子；其中，所述能量探测器包括毛玻璃、聚光镜以及光电二极管，所述利用能量探测器对所述反射光激光脉冲的能量进行采集，并利用标准能量计对所述透射光进行能量值检测之前，还包括：利用所述毛玻璃对所述反射光进行匀化处理；利用所述聚光镜对匀化处理后的反射光进行聚光，使得反射光收敛到所述光电二极管的接收面内；所述光电二极管根据接收到的反射光生成脉冲波形，用所述脉冲波形的波形峰值表征所述准分子激光脉冲的能量。
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