[发明专利]一种二极管的制造方法及由此制得的二极管有效

专利信息
申请号: 201711248776.5 申请日: 2017-12-01
公开(公告)号: CN108010841B 公开(公告)日: 2019-09-03
发明(设计)人: 刘云燕;李广德;王仁东;修俊山;付圣贵;谢德怀;魏芹芹;孙艳 申请(专利权)人: 山东理工大学
主分类号: H01L21/329 分类号: H01L21/329;H01L29/861
代理公司: 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638 代理人: 王新爱
地址: 255000 山*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明公开了一种二极管的制造方法及由此制得的二极管,本发明的制造方法包括二极管晶粒制备、填装、焊接、清洗封装步骤,本发明利用晶粒和焊片在高温下不同的热膨胀系数及形变,焊接前无需提前对正晶粒,即可实现焊接后晶粒自动拉正,气孔面积大大减小,提高焊接质量,经由氢氟酸:醋酸:硫酸:硝酸的体积比=8.8:13:5.6:9.2制得的混合酸酸洗后的晶粒电性良率高。
搜索关键词: 一种 二极管 制造 方法 由此
【主权项】:
1.一种二极管的制造方法,其特征在于:包括如下步骤:步骤1:二极管晶粒的制备1.1、在硅晶片的厚度方向预切割,形成不完全切开的方形的二极管晶粒,硅晶片的切割深度为硅晶片总厚度的3/5~4/5;1.2、将在厚度方向预切割的硅晶片N面朝上放在晶粒裂解纸上,切割刀口方向朝上,轻压,使得不完全切开的二极管晶粒完全裂解;步骤2:装填2.1、将下引线装入下焊接舟,2.2、将焊片放入焊片吸盘,并移入焊接舟,焊片落在引线之上;二极管晶粒放入焊接舟,落在焊片之上,二极管晶粒上放置焊片,在焊接舟表面均匀喷洒助焊剂,最后合上载有上引线的上焊接舟;二极管晶粒可以任意角度放入,无需刻意调整晶粒放入的角度,焊片放入时也无需刻意调整位;2.3、焊片大小与方形晶粒大小之间遵循严格的尺寸比例关系,焊片过大,方形晶粒无法拉正,焊片过小,方形晶粒间接触不良,47、55、90、134mil尺寸的方形晶粒分别对应的焊片尺寸为是:Φ1.30mm、厚度0.05mm;Φ1.70mm、厚度0.05mm;Φ2.80mm、厚度0.05mm;Φ3.56mm,厚度0.10mm;步骤3:焊接装填好的焊接舟,放入焊接炉进行焊接,形成二极管焊接件,焊接温度和时间为:在常温下,以16.5±0.5℃/min的升温斜率加热焊接温度至310~320℃,焊接温度维持时间:5~10min;再以7.0±0.5℃/min的降温斜率降温至70±5℃,最后自然降至室温,步骤4:清洗包括如下步骤:4.1:用混合酸在常温下对焊接后的二极管焊接件酸洗150秒,然后用去离子水冲洗二极管焊接件60秒;4.2:将浓度为85±1%的磷酸:浓度35±1%的双氧水:纯水按照体积比为1:1:3混合搅拌8~10分钟制得酸洗液,将制得的酸洗液加热至60℃,二极管焊接件在此酸洗液中清洗60秒,然后用去离子水冲洗二极管焊接件60秒;4.3:将浓度25%~28%的氨水、浓度为35±1%的双氧水和纯水按照体积比为9:1:9比例混合均匀制得酸洗液,使用常温的此酸洗液将二极管焊接件清洗60秒,然后用去离子水冲洗二极管焊接件60秒;4.4:清洗后的二极管焊接件在去离子水超声或者兆声清洗3分钟,然后用50~60℃的去离子水冲洗二极管焊接件60秒;4.5:二极管焊接件放入异丙醇浸泡5~8分钟;4.6:将二极管焊接件在170~210℃温度下烘干一小时,步骤5:对清洗烘干后的二极管焊接件上白胶,然后进行固化,二极管封装成型。
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