[发明专利]一种线缆保护装置及光刻设备有效
| 申请号： | 201711249449.1 | 申请日： | 2017-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN109874242B | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 管博然 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | H05K5/02 | 分类号： | H05K5/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种线缆保护装置及光刻设备，该线缆保护装置包括挡板结构，挡板结构位于线缆与一阻挡物之间，将线缆与阻挡物隔离开，挡板结构与所述气控箱转动连接，当气控箱被推拉时，挡板结构以阻挡物为基点相对滑动。相应的光刻设备包括该线缆保护装置。本发明能有效地避免线缆与障碍物之间严重摩擦，防止卡住气控箱，保护线缆。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 线缆 保护装置 光刻 设备 | ||
【主权项】：
1.一种线缆保护装置，所述线缆的一端与气控箱连接，另一端与被控装置连接；其特征在于，所述线缆保护装置包括挡板结构，挡板结构位于线缆与一阻挡物之间，将线缆与阻挡物隔离开，挡板结构与所述气控箱转动连接，当气控箱被推拉时，挡板结构以阻挡物为基点相对滑动。
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