[发明专利]一种真空光学检测系统在审
申请号: | 201711252416.2 | 申请日: | 2017-12-01 |
公开(公告)号: | CN107782537A | 公开(公告)日: | 2018-03-09 |
发明(设计)人: | 贾平;郭疆;李宪斌;邵明东;朱磊;王浩 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G01M11/04 | 分类号: | G01M11/04 |
代理公司: | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙)44316 | 代理人: | 赵勍毅 |
地址: | 130033 吉林省长春*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本发明提供的真空光学检测系统,包括空间光学遥感器、低气压模拟装置、干涉仪、用于容纳干涉仪的真空容器、用于调整空间光学遥感器和真空容器的精密调整装置,精密调整装置和真空容器均容纳于低气压模拟装置中,低气压模拟装置为具有一开口的密闭容器,真空容器通过波纹管与开口柔性密闭连通,外界大气通过开口与真空容器连通,低气压模拟装置为空间光学遥感器提供低气压环境,通过精密调整装置调整空间光学遥感器与真空容器的位置,使空间光学遥感器的焦面和干涉仪的焦面之间按照预设位置关系对准,从而实现在真空环境下对空间光学遥感器进行光学检测。 | ||
搜索关键词: | 一种 真空 光学 检测 系统 | ||
【主权项】:
一种真空光学检测系统,其特征在于,包括空间光学遥感器、低气压模拟装置、干涉仪、用于容纳所述干涉仪的真空容器、用于调整所述空间光学遥感器和所述真空容器的精密调整装置,所述精密调整装置和所述真空容器均容纳于所述低气压模拟装置中,所述低气压模拟装置为具有一开口的封闭容器,所述真空容器与所述开口之间柔性密闭连通,外界大气通过所述开口与所述真空容器连通,所述低气压模拟装置为所述空间光学遥感器提供低气压环境,通过所述精密调整装置调整所述空间光学遥感器与所述真空容器的位置,以使得所述空间光学遥感器的焦面和所述干涉仪的焦面之间按照预设位置关系对准。
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