[发明专利]反射折射光学系统、照明光学系统、曝光装置有效
| 申请号： | 201711263241.5 | 申请日： | 2017-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN108152940B | 公开（公告）日： | 2021-04-27 |
| 发明（设计）人： | 大阪昇 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G02B17/08 | 分类号： | G02B17/08;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 孙蕾 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及反射折射光学系统、照明光学系统、曝光装置。在物面以及像面作为远心光路的反射折射光学系统包括：第1反射面、第2反射面、第3反射面以及第4反射面；以及具有正的屈光力的折射面，该折射面配置于所述物面与所述第1反射面之间，从所述物面出来的光依次经由所述折射面、所述第1反射面、所述折射面、所述第2反射面、所述折射面、所述第3反射面、所述第4反射面到达所述像面。 | ||
| 搜索关键词： | 反射 折射 光学系统 照明 曝光 装置 | ||
【主权项】：
一种反射折射光学系统，是在物面以及像面作为远心光路的反射折射光学系统，所述反射折射光学系统的特征在于，包括：第1反射面、第2反射面、第3反射面以及第4反射面；以及具有正的屈光力的折射面，该折射面被配置于所述物面与所述第1反射面之间，从所述物面出来的光依次经由所述折射面、所述第1反射面、所述折射面、所述第2反射面、所述折射面、所述第3反射面、所述第4反射面到达所述像面。
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