[发明专利]多自由度光学精密调节台

摘要

本发明公开了一种多自由度光学精密调节台，包括：调节台主体，其包括由上至下依次设置的第一转板、第二转板、第一滑板、第二滑板、第三转板和底板；θz方向舵机组件；θy方向舵机组件；X方向舵机组件；Z方向舵机组件和θx方向舵机组件。本发明将舵机引入到精密调节台结构中，巧妙利用了舵机控制简单、成本低廉等特点，实现了调节台高精度多自由度的调节；本发明结构简单小巧，自锁性能好、稳定性高，能适应细长条负载，应用范围广，且调节精度高、控制简单、生产成本低，市场前景广阔。

主权项

一种多自由度光学精密调节台，其特征在于，包括：调节台主体，其包括由上至下依次设置的第一转板、第二转板、第一滑板、第二滑板、第三转板和底板；θz方向舵机组件，用于驱动所述第一转板绕Z轴方向转动，其包括θz方向舵机、θz方向调节机构和设置于所述第一转板和第二转板之间的第一弧形导轨机构；θy方向舵机组件，用于驱动所述第二转板绕Y轴方向转动，其包括θy方向舵机和θy方向调节机构；X方向舵机组件，用于驱动所述第一滑板沿X方向运动，其包括X方向舵机和X方向调节机构；Z方向舵机组件，用于驱动所述第二滑板沿Z方向运动，其包括Z方向舵机和Z方向调节机构；θx方向舵机组件，用于驱动所述第三转板绕X轴方向转动，其包括θx方向舵机、θx方向调节机构和设置于所述第三转板和底板之间的第二弧形导轨机构。