[发明专利]金属板、金属板的制造方法、和使用金属板制造蒸镀掩模的方法

摘要

本发明涉及金属板、金属板的制造方法、和使用金属板制造蒸镀掩模的方法。本发明的目的是提供一种可制作翘曲小的蒸镀掩模的金属板。对从退火工序后的金属板中取得的样品进行了蚀刻的情况下，蚀刻后的样品的翘曲的曲率k为0.008mm‑1以下。

主权项

1.一种金属板的制造方法，该金属板通过形成2个以上贯通孔而用于制造蒸镀掩模，其中，所述蒸镀掩模的所述贯通孔通过对所述金属板进行蚀刻而形成，所述金属板的制造方法具备下述工序：轧制工序，对母材进行轧制以得到具有厚度t0的所述金属板；和退火工序，将所述金属板退火以除去所述金属板的内部应力，所述金属板具有第1面和第2面，该第1面和第2面相对于所述金属板的厚度方向正交、且互为相向，在对从所述退火工序后的所述金属板中取得的样品进行了蚀刻的情况下，蚀刻后的样品的翘曲的曲率k为0.008mm-1以下，所述曲率k为如下求出的值：首先，从所述退火工序后的所述金属板中取得长170mm、宽30mm的所述样品，接着，将所述样品中的除长度方向的两端起10mm以内的区域以外的长150mm、宽30mm的区域作为被蚀刻区域，从所述第1面侧在所述样品的被蚀刻区域的整个区域对所述样品进行蚀刻，直至所述被蚀刻区域的厚度达到1/3×t0以上且2/3×t0以下的范围内，其后，将蚀刻后的所述样品按照其侧面为水平的方式载置于预定的载置台上，接着，测定所述样品的所述被蚀刻区域的长度方向的端部间距离x(mm)和所述样品的所述被蚀刻区域的翘曲的深度y(mm)，其后，将所述端部间距离x和所述深度y代入下式，由此求出所述曲率k，k＝1/ρ、ρ＝(y/2)+(x2/8y)。