[发明专利]一种悬浮结构微波滤波器及其制备方法在审
| 申请号： | 201711268056.5 | 申请日： | 2017-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN108206319A | 公开（公告）日： | 2018-06-26 |
| 发明（设计）人： | 欧毅;李志刚;蒋文静;刘战峰;欧文;曹立强 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H01P1/207 | 分类号： | H01P1/207;H01P11/00;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 张瑾 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种悬浮结构微波滤波器，包括：上层硅片，上层硅片的下表面刻蚀有凹腔，用于形成封装帽结构；下层硅片，下层硅片的上表面沉积有介质薄膜，介质薄膜上形成有交指电极图形；其中，下层硅片上表面的介质薄膜下方的硅衬底被去除，形成介质薄膜的悬浮状态，上层硅片和下层硅片通过对准键合工艺堆叠组装。本发明能够实现体积小、损耗低、高性能的微波滤波器。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 介质薄膜 下层 微波滤波器 悬浮结构 上表面 上层 对准键合工艺 电极图形 堆叠组装 悬浮状态 封装帽 硅衬底 体积小 下表面 凹腔 沉积 刻蚀 去除 制备 | ||
【主权项】：
1.一种悬浮结构微波滤波器，包括：上层硅片，所述上层硅片的下表面刻蚀有凹腔，用于形成封装帽结构；下层硅片，所述下层硅片的上表面沉积有介质薄膜，所述介质薄膜上形成有交指电极图形；其特征在于，所述下层硅片上表面的介质薄膜下方的硅衬底被去除，形成所述介质薄膜的悬浮状态，所述上层硅片和所述下层硅片通过对准键合工艺堆叠组装。
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