[发明专利]用可编程控制器的扩散炉控制系统在审
| 申请号： | 201711274773.9 | 申请日： | 2017-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN109883215A | 公开（公告）日： | 2019-06-14 |
| 发明（设计）人： | 苗洪敏 | 申请（专利权）人： | 苗洪敏 |
| 主分类号： | F27D19/00 | 分类号： | F27D19/00 |
| 代理公司： | 扬州苏中专利事务所(普通合伙) 32222 | 代理人： | 沈志海 |
| 地址： | 225129 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 用可编程控制器的扩散炉控制系统，属于半导体制造设备技术领域，采用可编程控制器PLC作为核心元件的扩散炉温度控制、气体流量控制系统以及工艺要求的各种连锁控制的主要元部件；并且选取扩散炉控制的人机对话界面用于输入与显示；温度控制的精度和温度的稳定性和进入炉体内的各种气体流量的控制精度和稳定性比起原有的扩散炉控制系统有较大幅度提高，控制功能多样且操作方便，炉体的温度、气路状态显示明确清晰。本发明工作原理清晰，控制功能多样且操作方便，炉体的温度、气路状态显示更为明确清晰，进一步满足了半导体制造业扩散工艺的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 扩散炉 控制系统 可编程控制器 控制功能 气路状态 炉体 清晰 气体流量控制系统 可编程控制器PLC 半导体制造设备 半导体制造业 人机对话界面 工艺要求 工作原理 核心元件 扩散工艺 连锁控制 气体流量 元部件 原有的 体内 | ||
【主权项】：
1.用可编程控制器的扩散炉控制系统，其特征在于：采用可编程控制器PLC作为核心元件的扩散炉温度控制、气体流量控制系统以及工艺要求的各种连锁控制的主要元部件；并且选取扩散炉控制的人机对话界面用于输入与显示；温度控制的精度和温度的稳定性和进入炉体内的各种气体流量的控制精度和稳定性比起原有的扩散炉控制系统有较大幅度提高，控制功能多样且操作方便，炉体的温度、气路状态显示明确清晰。
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