[发明专利]叠加式金属网格型透明电极的激光定域去除制备方法

摘要

本发明提供了一种叠加式金属网格型透明电极的制备方法，首先通过磁控溅射镀膜仪在衬底表面溅射一层金属，然后利用激光束按照EZCAD绘制的阵列在金属/衬底表面进行去除，最后用吸耳球吹去表层的飞溅物，即可得到叠加式金属网格型透明电极。本发明操作简单，对设备无特殊要求，制备成本低。

主权项

1.叠加式金属网格型透明电极的激光定域去除制备方法，其特征在于，包括以下步骤：首先对衬底进行清洗，接着将清洗过的衬底置于磁控溅射镀膜仪样品台上，通过磁控溅射镀膜仪在衬底表面溅射一层的金属；再将得到的金属/衬底置于激光器的样品台上，调整样品台位置和相关激光参数，利用聚焦后的激光束按照EZCAD软件所绘制的方块阵列在金属/衬底上进行扫描，通过精确控制激光参数，可使激光作用下方块阵列区域内的金属被迅速加热而汽化、挥发，实现该区域金属层的定域去除，未被去除的金属层则构成金属网格形状；最后取出，用吸耳球吹去表层的飞溅物，即可得到叠加式金属网格型透明电极。