[发明专利]一种用于制备钙钛矿太阳能电池的团簇式真空沉积系统有效
| 申请号： | 201711282358.8 | 申请日： | 2017-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN109904327B | 公开（公告）日： | 2020-12-15 |
| 发明（设计）人： | 刘生忠;曹越先;王辉;杜敏永;张豆豆;王开;秦炜 | 申请（专利权）人： | 中国科学院大连化学物理研究所 |
| 主分类号： | H01L51/48 | 分类号： | H01L51/48 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 何丽英 |
| 地址： | 116023 *** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及太阳能电池制造技术领域，特别涉及一种用于制备钙钛矿太阳能电池的团簇式真空沉积系统。包括进/出样腔室、中央腔室、机械传输装置及多个沉积腔室，其中进/出样腔室及多个沉积腔室沿周向设置于中央腔室的周围、且均与中央腔室连通，进/出样腔室及多个沉积腔室与中央腔室之间均设有闸板阀，机械传输装置设置于中央腔室内，且用于将装有样品基底的托架在各腔室之间传输，多个沉积腔室内沉积制备钙钛矿太阳能电池的各层结构。本发明全部使用真空沉积法机械化自动制备各层薄膜，有助于提高钛矿太阳能电池的稳定性和均匀性，也能在大规模生产中提高产品的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 制备 钙钛矿 太阳能电池 团簇式 真空 沉积 系统 | ||
【主权项】：
1.一种用于制备钙钛矿太阳能电池的团簇式真空沉积系统，其特征在于：包括进/出样腔室(1)、中央腔室(2)、机械传输装置及多个沉积腔室(3)，其中进/出样腔室(1)及多个沉积腔室(3)沿周向设置于中央腔室(2)的周围、且均与所述中央腔室(2)连通，所述进/出样腔室(1)及多个沉积腔室(3)与所述中央腔室(2)之间均设有闸板阀(4)，所述机械传输装置设置于所述中央腔室(2)内，且用于将装有样品基底的托架在各腔室之间传输，多个沉积腔室(3)内沉积制备钙钛矿太阳能电池的各层结构。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
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H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
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