[发明专利]芯材料和半导体封装体和凸块电极的形成方法有效
申请号: | 201711286173.4 | 申请日: | 2017-12-07 |
公开(公告)号: | CN108172523B | 公开(公告)日: | 2019-03-01 |
发明(设计)人: | 西野友朗;近藤茂喜;服部贵洋;川崎浩由;六本木贵弘;相马大辅;佐藤勇 | 申请(专利权)人: | 千住金属工业株式会社 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;李茂家 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 提供芯材料和半导体封装体和凸块电极的形成方法。该芯材料是将包含Sn和Bi的(Sn‑Bi)系软钎料合金在芯(12)的表面形成镀覆膜而得到的芯材料,其是软钎料镀覆层(16)中的Bi以规定范围的浓度比分布在软钎料镀覆层中的芯材料,是以Bi的浓度比在91.7~106.7%的规定范围内分布于软钎料镀覆层中的芯材料。软钎料镀覆层中的Bi是均匀的。因此,不会发生如下的情况:内周侧比外周侧更早发生熔融,在内周侧与外周侧产生体积膨胀差,使芯材料被弹飞。另外,软钎料镀覆层整体大致均匀地熔融,因此不会发生被认为是因熔融时机参差不齐而发生的芯材料的位置偏移,因此不存在伴随位置偏移等的电极间短路等担心。 | ||
搜索关键词: | 芯材料 镀覆层 软钎料 熔融 半导体封装体 凸块电极 位置偏移 浓度比 外周 软钎料合金 表面形成 体积膨胀 电极 短路 侧比 镀覆 内周 时机 | ||
【主权项】:
1.一种芯材料,其在芯表面具有电镀软钎料而成的包含Sn和Bi的Sn‑Bi系软钎料合金的电镀软钎料镀覆层,其特征在于,所述芯由Cu、Ni、Ag、Bi、Pb、Al、Sn、Fe、Zn、In、Ge、Sb、Co、Mn、Au、Si、Pt、Cr、La、Mo、Nb、Pd、Ti、Zr、Mg的金属单质或它们的两种以上的合金、金属氧化物、或者金属混合氧化物形成,如下表示所述软钎料镀覆层中所含的Bi的浓度比时,所述浓度比处于91.4~106.7%的范围内,浓度比(%)=Bi的测量值(质量%)/目标的Bi含量(质量%)或者,浓度比(%)=Bi的测量值的平均值(质量%)/目标的Bi含量(质量%)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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