[发明专利]一种单面抛光机大盘的修盘方法有效
| 申请号： | 201711290242.9 | 申请日： | 2017-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN109894975B | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 林霖;史训达;刘云霞;吴迪;杨少坤;李奇 | 申请（专利权）人： | 有研半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/00 | 分类号： | B24B53/00 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 刘秀青 |
| 地址： | 101300 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单面抛光机大盘的修盘方法。该方法包括以下步骤：(1)制备磨砂液；(2)将两个圆形铸铁磨盘置于抛光机大盘上，并通过两个连接杆连接到固定支撑架上，铸铁磨盘可以绕着连接杆旋转；将浆料桶中的磨砂液均匀输送到抛光机大盘表面；研磨直到大盘直径方向磨平为止；(3)卸下两个圆形铸铁磨盘和固定支撑架，将两个齿轮型铸铁修整工具置于抛光机大盘上，并将压力头分别套入两个齿轮型铸铁修整工具的内径，两个铸铁修整工具在抛光机大盘上呈对称放置；将浆料桶中的磨砂液均匀输送到抛光机大盘表面；研磨直到大盘半径方向磨平为止。本发明的方法可以修平抛光机大盘，还可以修成希望得到的大盘微观形貌，可操作性强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单面 抛光机 大盘 方法 | ||
【主权项】：
1.一种单面抛光机大盘的修盘方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)将磨砂和水按照磨砂∶水＝1∶(3～20)的体积百分比，在浆料桶中混合搅拌，待磨砂液搅拌均匀后，按照悬浮剂∶磨砂液＝1∶(20～60)的体积比加入悬浮剂，搅拌均匀；(2)将两个圆形铸铁磨盘置于抛光机大盘上，并通过两个连接杆连接到固定支撑架上，铸铁磨盘可以绕着连接杆旋转；将抛光机大盘转速设置为20～50rpm，将浆料桶中的磨砂液均匀输送到抛光机大盘表面；研磨1～12小时后停止研磨，停机检查大盘直径方向的平整度，若不够平整，则继续研磨，直到大盘直径方向磨平为止；(3)卸下两个圆形铸铁磨盘和固定支撑架，将两个齿轮型铸铁修整工具置于抛光机大盘上，并将压力头分别套入两个齿轮型铸铁修整工具的内径，两个铸铁修整工具在抛光机大盘上呈对称放置；将压力头的下压强度调整到50～300g/cm2，抛光机大盘转速设置为20～50rpm，压力头转速设置为20～50RPM，将浆料桶中的磨砂液均匀输送到抛光机大盘表面；研磨1～12小时后停止研磨，停机检查大盘半径方向的平整度，若不够平整，则继续研磨，直到大盘半径方向磨平为止。
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