[发明专利]邻重氮萘醌正性光致抗蚀剂的生产装置在审
| 申请号： | 201711293852.4 | 申请日： | 2017-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN108241261A | 公开（公告）日： | 2018-07-03 |
| 发明（设计）人： | 彭响亮 | 申请（专利权）人： | 成都里维尔科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/022;C08G8/12;C07C303/02;C07C309/88 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610041 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 邻重氮萘醌正性光致抗蚀剂的生产装置，主要包括：硝化釜(D101)、重氮化釜(D102)、反应釜(D103)、溶解釜(D104)、脱水精制(D105)、反应釜(D106)、粗滤器(L101)、精滤器(L102)、储罐(F101～F106)、泵(J101～J106)，其中，反应釜(D103)分别与重氮化釜(D102)、溶解釜(D104)相连接，泵(J103)分别与储罐(F103)、重氮化釜(D102)相连接，其中，反应釜(D103)公称容积700‑800L。 | ||
| 搜索关键词： | 反应釜 重氮化 正性光致抗蚀剂 生产装置 溶解釜 重氮萘 储罐 粗滤器 精滤器 硝化 脱水 精制 | ||
【主权项】：
1.邻重氮萘醌正性光致抗蚀剂的生产装置，其特征在于，主要包括：硝化釜(D101)、重氮化釜(D102)、反应釜(D103)、溶解釜(D104)、脱水精制(D105)、反应釜(D106)、粗滤器(L101)、精滤器(L102)、储罐(F101～F106)、泵(J101～J106)，其中，反应釜(D103)分别与重氮化釜(D102)、溶解釜(D104)相连接，泵(J103)分别与储罐(F103)、重氮化釜(D102)相连接，其中，反应釜(D103)公称容积700‑800L。
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