[发明专利]一种环境友好型Sn-Sb-Ti纳米复合相变薄膜及其制备方法

摘要

一种环境友好型Sn‑Sb‑Ti纳米复合相变薄膜，其化学组成符合化学通式(SnxSb1‑x)1‑yTiy，其中，0.05x0.25,0.01y0.4。与传统Ge2Sb2Te5及未掺杂SnxSb1‑x相变薄膜相比，本发明的钛掺杂Sn‑Sb薄膜具有较快的晶化速度，有利于提高PCRAM的存储速率；其次，(SnxSb1‑x)1‑yTiy纳米相变薄膜材料具有较高的晶化温度、结晶激活能和十年数据保持力，有益于改善PCRAM的稳定性；再次，相比未掺钛的SnxSb1‑x薄膜材料，(SnxSb1‑x)1‑yTiy纳米相变薄膜材料具有更高的非晶态和晶态电阻，有助于降低PCRAM操作功耗，提升PCRAM存储密度。

主权项

1.一种环境友好型Sn‑Sb‑Ti纳米复合相变薄膜，其特征在于，其化学组成符合化学通式(Sn_xSb_1‑x)_1‑yTi_y，其中，0.05<x<0.25,0.01<y<0.4。