[发明专利]保护膜贴合装置及贴合方法

摘要

本发明公开了一种保护膜贴合装置，包括：载台，用于放置待贴膜的基板；压板，与载台对向设置且设于载台上方，包括在朝向载台的表面开设的若干供空气通过的第一槽、连通所有的第一槽的第一通道以及第一进气孔，第一进气孔与第一槽在压板的不同的表面；第一真空发生装置，与所述第一进气孔连通，用于产生真空吸力将保护膜吸附在所述压板表面；所述载台与所述压板可相互靠近而将保护膜贴合在基板表面。本发明还公开了一种保护膜贴合方法。通过采用本发明的技术方案，减小了压合过程中气泡的产生几率，实现了保护膜的精确贴合，也避免了贴膜过程中带来的压痕和折伤，也避免了产品膜层被particle刺穿，且能较好地兼容条状和片状的贴合要求。

主权项

1.一种保护膜贴合装置，其特征在于，包括：载台（10），用于放置待贴膜的基板（1）；压板（20），与所述载台（10）对向设置且设于所述载台（10）上方，包括在朝向所述载台（10）的表面开设的若干供空气通过的第一槽（21）、连通所有的所述第一槽（21）的第一通道（22）以及第一进气孔（23），所述第一进气孔（23）与所述第一槽（21）在所述压板（20）的不同的表面；第一真空发生装置，与所述第一进气孔（23）连通，用于产生真空吸力将保护膜（2）吸附在所述压板（20）表面；上壳（40），包括底面开设的容置槽和所述容置槽底面开设的引导孔（400），所述压板（20）容纳于所述容置槽内，所述压板（20）背向所述载台（10）的表面凸设有凸柱（50），所述凸柱（50）穿设于所述引导孔（400）内且可沿所述引导孔（400）滑动；第三真空发生装置，所述上壳（40）上还开设有贯穿所述容置槽底面、用于连接所述第三真空发生装置的抽气孔（42），所述容置槽在所述载台（10）上的投影位于所述载台（10）内；所述载台（10）与所述压板（20）可相互靠近而将保护膜（2）贴合在基板（1）表面，所述第三真空发生装置用于在所述载台（10）抵接所述上壳（40）端面后抽气，将保护膜（2）与基板（1）之间的空气抽出。