[发明专利]一种传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201711305897.9 | 申请日： | 2017-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN108217575A | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 周国富;沈振鹏;周蕤;李君;尼克·德·罗伊 | 申请（专利权）人： | 华南师范大学;深圳市国华光电科技有限公司;深圳市国华光电研究院 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 唐致明;洪铭福 |
| 地址： | 510631 广东省广州市大学城*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种传感器，包括基板、至少一个下电极、至少一个中电极和至少一个上电极；下电极设置于基板上方，中电极、上电极设置于所下电极的上方且下电极、中电极、上电极分别设置于空间中相互平行的不同平面上，传感器的下电极的投影、中电极的投影和上电极的投影相交于投影相交点以形成至少一个微桥，传感器还包括与中电极接触的传感材料，传感材料设置于投影相交点上；本发明还公开了一种传感器的制备方法。本发明的传感器为变极距型电容式传感器，并且具有至少一个差动微桥，实现高灵敏度传感测量，减小非线性误差。另外，本发明一种传感器的制备方法，用于制作所述传感器，制备方法简单。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 电极 下电极 投影 制备 传感材料 相交点 基板 微桥 电容式传感器 非线性误差 电极接触 电极设置 高灵敏度 变极 差动 传感 减小 平行 相交 测量 制作 | ||
【主权项】：
1.一种传感器，包括基板，其特征在于，所述传感器还包括至少一个下电极、至少一个中电极和至少一个上电极；所述下电极设置于基板上方，所述中电极、上电极设置于所述下电极的上方且所述下电极、中电极、上电极分别设置于空间中相互平行的的不同平面上，所述传感器的下电极的投影、中电极的投影和上电极的投影相交于投影相交点以形成至少一个微桥，所述传感器还包括与中电极接触的传感材料，所述传感材料设置于投影相交点上。
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