[发明专利]铝钪合金靶坯及其制备方法及应用在审
| 申请号： | 201711308051.0 | 申请日： | 2017-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN107841643A | 公开（公告）日： | 2018-03-27 |
| 发明（设计）人： | 程银兵;庄志杰;顾宗慧;庄猛 | 申请（专利权）人： | 基迈克材料科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C22C1/04 | 分类号： | C22C1/04;C22C21/00;C23C14/14;C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 王乐 |
| 地址： | 215200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种铝钪合金靶坯及其制备方法及应用。其中，铝钪合金靶坯包括16‑50重量份的钪，50‑84重量份的铝，铝钪合金靶坯的含氧量小于等于160ppm。上述铝钪合金靶坯具有钪含量高、含氧量低，进而使得制备的靶坯不会发生异常放电或粒子溅疤，能够保证后期高品质成膜。 | ||
| 搜索关键词： | 合金 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
一种铝钪合金靶坯，其特征在于，所述铝钪合金靶坯包括：16‑50重量份的钪，50‑84重量份的铝，所述铝钪合金靶坯的含氧量小于等于160ppm。
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