[发明专利]一种柔刚两用型钙钛矿太阳能电池一体化沉积系统在审
申请号: | 201711314201.9 | 申请日: | 2017-12-12 |
公开(公告)号: | CN109920919A | 公开(公告)日: | 2019-06-21 |
发明(设计)人: | 刘生忠;杜敏永;王辉;曹越先;张豆豆;秦炜;王开 | 申请(专利权)人: | 中国科学院大连化学物理研究所 |
主分类号: | H01L51/48 | 分类号: | H01L51/48 |
代理公司: | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人: | 汪海 |
地址: | 116023 辽宁省*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及太阳能电池生产技术领域,具体地说是一种柔刚两用型钙钛矿太阳能电池一体化沉积系统,包括前溅射装置、蒸发装置和后溅射装置,所述前溅射装置、蒸发装置和后溅射装置内均设有柔性沉积轨道系统、刚性沉积轨道系统和多个腔室,柔性衬底通过所述柔性沉积轨道系统带动在各个腔室间移动,刚性衬底通过所述刚性沉积轨道系统带动在各个腔室间移动;所述前溅射装置用于ITO溅射沉积和TiO2溅射沉积,所述蒸发装置用于CH3NH3PbI热蒸发沉积和PbCl3热蒸发沉积,所述后溅射装置用于NiO电极溅射沉积和Au电极溅射沉积。本发明根据钙钛矿的基本结构,将系统设计为溅射沉积‑蒸发沉积‑溅射沉积的真空法沉积模式,极大改善了钙钛矿太阳能电池的稳定性。 | ||
搜索关键词: | 溅射沉积 溅射装置 沉积 轨道系统 钙钛矿 太阳能电池 蒸发装置 腔室 热蒸发沉积 沉积系统 两用型 衬底 太阳能电池生产 系统设计 蒸发沉积 一体化 电极 真空法 移动 | ||
【主权项】:
1.一种柔刚两用型钙钛矿太阳能电池一体化沉积系统,其特征在于:包括前溅射装置(1)、蒸发装置(2)和后溅射装置(3),所述前溅射装置(1)、蒸发装置(2)和后溅射装置(3)内均设有柔性沉积轨道系统(4)、刚性沉积轨道系统(5)和多个腔室,柔性衬底通过所述柔性沉积轨道系统(4)带动在各个腔室间移动,刚性衬底(506)通过所述刚性沉积轨道系统(5)带动在各个腔室间移动;所述前溅射装置(1)内设有进行ITO溅射沉积的第一前沉积室(13)和进行ITO溅射沉积的第一后沉积室(14),所述蒸发装置(2)内设有进行CH3NH3PbI热蒸发沉积的第二前沉积室(23)、进行PbCl3热蒸发沉积的第二后沉积室(24)和进行退火成膜的第二后过渡室(25),所述后溅射装置(3)内设有进行NiO电极溅射沉积的第三前沉积室(33)和进行Au电极溅射沉积的第三后沉积室(34)。
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H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
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