[发明专利]一种柔刚两用型钙钛矿太阳能电池一体化沉积系统在审

专利信息
申请号: 201711314201.9 申请日: 2017-12-12
公开(公告)号: CN109920919A 公开(公告)日: 2019-06-21
发明(设计)人: 刘生忠;杜敏永;王辉;曹越先;张豆豆;秦炜;王开 申请(专利权)人: 中国科学院大连化学物理研究所
主分类号: H01L51/48 分类号: H01L51/48
代理公司: 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 代理人: 汪海
地址: 116023 辽宁省*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 发明涉及太阳能电池生产技术领域,具体地说是一种柔刚两用型钙钛矿太阳能电池一体化沉积系统,包括前溅射装置、蒸发装置和后溅射装置,所述前溅射装置、蒸发装置和后溅射装置内均设有柔性沉积轨道系统、刚性沉积轨道系统和多个腔室,柔性衬底通过所述柔性沉积轨道系统带动在各个腔室间移动,刚性衬底通过所述刚性沉积轨道系统带动在各个腔室间移动;所述前溅射装置用于ITO溅射沉积和TiO2溅射沉积,所述蒸发装置用于CH3NH3PbI热蒸发沉积和PbCl3热蒸发沉积,所述后溅射装置用于NiO电极溅射沉积和Au电极溅射沉积。本发明根据钙钛矿的基本结构,将系统设计为溅射沉积‑蒸发沉积‑溅射沉积的真空法沉积模式,极大改善了钙钛矿太阳能电池的稳定性。
搜索关键词: 溅射沉积 溅射装置 沉积 轨道系统 钙钛矿 太阳能电池 蒸发装置 腔室 热蒸发沉积 沉积系统 两用型 衬底 太阳能电池生产 系统设计 蒸发沉积 一体化 电极 真空法 移动
【主权项】:
1.一种柔刚两用型钙钛矿太阳能电池一体化沉积系统,其特征在于:包括前溅射装置(1)、蒸发装置(2)和后溅射装置(3),所述前溅射装置(1)、蒸发装置(2)和后溅射装置(3)内均设有柔性沉积轨道系统(4)、刚性沉积轨道系统(5)和多个腔室,柔性衬底通过所述柔性沉积轨道系统(4)带动在各个腔室间移动,刚性衬底(506)通过所述刚性沉积轨道系统(5)带动在各个腔室间移动;所述前溅射装置(1)内设有进行ITO溅射沉积的第一前沉积室(13)和进行ITO溅射沉积的第一后沉积室(14),所述蒸发装置(2)内设有进行CH3NH3PbI热蒸发沉积的第二前沉积室(23)、进行PbCl3热蒸发沉积的第二后沉积室(24)和进行退火成膜的第二后过渡室(25),所述后溅射装置(3)内设有进行NiO电极溅射沉积的第三前沉积室(33)和进行Au电极溅射沉积的第三后沉积室(34)。
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