[发明专利]一种基于扫频OCT的高精度激光三维雕刻装置及方法在审
申请号: | 201711316718.1 | 申请日: | 2017-12-12 |
公开(公告)号: | CN107953037A | 公开(公告)日: | 2018-04-24 |
发明(设计)人: | 熊红莲;孔繁培;曾亚光;韩定安 | 申请(专利权)人: | 佛山科学技术学院 |
主分类号: | B23K26/38 | 分类号: | B23K26/38;B23K26/06;B23K26/08;B23K26/082 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司44205 | 代理人: | 谢泳祥 |
地址: | 528000 广东省佛山市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于扫频OCT的高精度激光三维雕刻装置,包括激光雕刻系统、扫频OCT系统,所述扫频OCT系统的样品检测激光的焦点与所述激光雕刻系统的雕刻激光的焦点重合,将扫频OCT成像技术应用到激光三维雕刻技术上,从而提高激光三维雕刻装置的精准度,该装置可广泛应用在激光雕刻行业。另一方面,还提供了基于本发明装置的三维雕刻方法,从而实现激光三维雕刻的高精度。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 oct 高精度 激光 三维 雕刻 装置 方法 | ||
【主权项】:
一种基于扫频OCT的高精度激光三维雕刻装置,包括:激光雕刻系统,其特征在于,还包括:扫频OCT系统,所述扫频OCT系统的样品检测激光的焦点与所述激光雕刻系统的雕刻激光的焦点重合。
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