[发明专利]具有实时健康监测和补偿的压力传感器有效
| 申请号： | 201711318911.9 | 申请日： | 2014-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN107976272B | 公开（公告）日： | 2020-03-24 |
| 发明（设计）人： | 顾磊;P·D·卢卡斯;S·F·巴尔特;P·W·苏立万 | 申请（专利权）人： | MKS仪器公司 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00;G01L19/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 陈珊 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 压力传感器可测量气体或液体压力。腔室可具有接收气体或液体的入口。柔性膜片可位于腔室内，所述柔性膜片具有在气体或液体流动通过入口之后暴露于气体或液体的表面。压力传感器系统可感测由气体或液体的压力变化所导致的柔性膜片的变化。压力不敏感传感器系统可感测柔性膜片中的不由气体或液体压力变化所导致的变化。压力不敏感传感器系统可对于柔性膜片中的由气体或液体压力变化所导致的变化不敏感。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 实时 健康 监测 补偿 压力传感器 | ||
【主权项】：
用于测量气体或液体压力的压力传感器，包括：腔室，所述腔室具有接收气体或液体的入口；位于腔室内的柔性膜片，所述柔性膜片具有在气体或液体流动通过入口之后暴露于气体或液体的表面；压力传感器系统，所述压力传感器系统感测由气体或液体的压力变化所导致的柔性膜片的变化；以及压力不敏感传感器系统，所述压力不敏感传感器系统感测柔性膜片中的不由气体或液体的压力变化所导致的变化，并且所述压力不敏感传感器系统对于柔性膜片中的由气体或液体的压力变化所导致的变化不敏感。
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