[发明专利]一种超纯氢气纯化吸附剂材料及应用在审
| 申请号： | 201711319701.1 | 申请日： | 2017-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN109908892A | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 李慧;徐恒泳;唐春华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院大连化学物理研究所 |
| 主分类号： | B01J23/34 | 分类号： | B01J23/34;B01J23/755;C01B3/58;B01D53/02 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 马驰 |
| 地址： | 116023 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种超纯氢气纯化吸附剂材料，能用于脱除氢气中的CO和N2等ppm级杂质，将这些杂质浓度均降到1ppb以下，满足半导体及LED生产等电子行业对超纯氢(>8‑9N)的需求。该吸附剂材料可反复再生，使用寿命长，成本低廉，适合用于规模化工业生产。 | ||
| 搜索关键词： | 纯化吸附剂 超纯氢气 吸附剂材料 电子行业 使用寿命 氢气 超纯氢 规模化 脱除 半导体 再生 应用 | ||
【主权项】：
1.一种超纯氢气纯化吸附剂材料，其特征在于：包括负载型催化剂Ni/Al2O3和TiZrMnOx基复合氧化物；Ni/Al2O3中Ni的质量负载量为5‑10％；TiZrMnOx中x＝2‑3，Ti、Zr、Mn的摩尔比(1‑5):(1‑5):1。
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