[发明专利]半导体装置及其制造方法有效
申请号: | 201711326822.9 | 申请日: | 2017-12-13 |
公开(公告)号: | CN108269780B | 公开(公告)日: | 2021-11-26 |
发明(设计)人: | 黄文宏 | 申请(专利权)人: | 日月光半导体制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/498 | 分类号: | H01L23/498;H01L21/60 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 蕭輔寬 |
地址: | 中国台湾高雄市楠梓*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 一种半导体装置包含一基板、在基板上之一图案化导电层、在基板上并围绕图案化导电层之一钝化层、在钝化层上且电连接至图案化导电层之一第一球下金属层(under bump metallurgy;UBM)及一第二UBM以及在钝化层上且在第一UBM及第二UBM之间的一隔离结构。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种半导体装置,其包括:一基板;一图案化导电层,其位于所述基板上;一钝化层,其位于所述基板上并围绕所述图案化导电层;一第一球下金属层(under bump metallurgy;UBM)及一第二UBM,其等位于所述钝化层上并电连接至所述图案化导电层;及一隔离结构,其位于所述钝化层上且位于所述第一UBM及所述第二UBM之间。
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