[发明专利]用于微机械传感器的制造方法在审
| 申请号： | 201711328407.7 | 申请日： | 2017-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN109911842A | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 马雷克·斯蒂芬森 | 申请（专利权）人： | MP高技术解决方案控股有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 王小衡;任庆威 |
| 地址： | 澳大利亚新*** | 国省代码： | 澳大利亚;AU |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 在一个方法中，一种制造辐射探测器件的方法包括：形成叠加在衬底的正面上的结构层；形成叠加在结构层上的金属层；通过对衬底的背面进行蚀刻来释放多个器件中的每个，其中，每个器件包括板和附接到板的腿，腿包括金属层的至少部分；以及密封多个器件中的每个，密封包括：将透明腔帽附接到衬底的正面；以及将辐射透明衬底附接到衬底的背面。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 多个器件 结构层 金属层 叠加 密封 背面 蚀刻 微机械传感器 辐射探测器 透明腔 制造 释放 透明 辐射 | ||
【主权项】：
1.一种方法，包括：在第一衬底上创建多个器件，其中，每个器件包括板和附接到所述板的腿，并且其中，创建所述多个器件包括：形成叠加在所述第一衬底的正面上的结构层，其中，每个器件的形状由所述结构层的相应部分定义；以及形成叠加在所述结构层上的金属层，其中，每个器件的所述腿包括所述金属层的相应部分；通过对所述第一衬底的背面进行蚀刻来将所述多个器件中的每个从所述第一衬底释放；以及密封所述多个器件中的每个，所述密封包括：将视觉透明腔帽附接到所述第一衬底的正面；以及将辐射透明衬底附接到所述第一衬底的背面。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于MP高技术解决方案控股有限公司，未经MP高技术解决方案控股有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711328407.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种挤压膜阻尼最大的平板电容微执行器
- 下一篇：金属薄膜图形的制造方法
